真空爐爐膛內的壓力能抽成低於大氣壓力的工業爐。真空爐用電加熱﹐被加熱的工件表面不氧化﹐不脫碳﹐變形小﹐機械性能好。用真空爐熔煉金屬有利於除去雜質﹐成品針孔少﹐偏析小﹑質量好。真空爐適用於高質量﹑高純度﹑難熔金屬的熔煉和加熱﹐例如用於鎢﹑鉬﹑鉭﹑鈮﹑鈦﹑耐熱合金鋼的冶煉和磁性材料,電工材料﹑高強鋼﹑不銹鋼﹑工具鋼﹑模具鋼等的熱處理。真空爐出現於20世紀30年代前后。1927年美國製成電工材料真空退火爐。1953年真空自耗電弧爐在工業上已用於熔煉海綿鈦。50年代前后真空感應爐在工業上得到廣泛應用。

真空爐一般由爐膛﹑電熱裝置﹑密封爐殼﹑真空系統﹑供電系統和控溫系統等組成。密封爐殼用碳鋼或不銹鋼焊成,可拆卸部件的接合面用真空密封材料密封。油淬真空爐為防止爐殼受熱后變形和密封材料受熱變質﹐爐殼一般用水冷或氣冷降溫。爐膛位於密封爐殼內。真空回火爐根據爐子用途爐膛內部裝有不同類型的加熱元件﹐如電阻﹑感應線圈﹑電極和電子槍等。熔煉金屬的真空爐爐膛內裝有坩堝﹐有的還裝有自動澆注裝置和裝卸料的機械手等。真空系統主要由真空泵﹑真空閥門和真空計等組成。

二十世紀50年代，無芯感應爐得到迅速發展。后來又出現了電子束爐，利用電子束來沖擊固態燃料，能強化表面加熱和熔化高熔點的材料。油淬真空爐用于鍛造加熱的爐子Z早是手鍛爐，其工作空間是一個凹形槽，槽內填入煤炭，低壓真空滲碳真空爐燃燒用的空氣由槽的下部供入，工件埋在煤炭里加熱。這種爐子的熱效率很低，加熱質量也不好，而且只能加熱小型工件，以后發展為用耐火磚砌成的半封閉或全封閉爐膛的室式爐，可以用煤，煤氣或油作為燃料，也可用電作為熱源，工件放在爐膛里加熱。

為便于加熱大型工件，真空回火爐又出現了適于加熱鋼錠和大鋼坯的臺車式爐，油淬真空爐為了加熱長形桿件還出現了井式爐。20世紀20年代后又出現了能夠提高爐子生產率和改善勞動條件的各種機械化、自動化爐型。低壓真空滲碳真空爐工業爐的燃料也隨著燃料資源的開發和燃料轉換技術的進步，真空回火爐而由采用塊煤、焦炭、煤粉等固體燃料逐步改用發生爐煤氣、城市煤氣、天然氣、柴油、燃料油等氣體和液體燃料，并且研制出了與所用燃料相適應的各種燃燒裝置。